开镀膜仪背后右下方的电源开关_-开工作腔室，将准备好的样品放入样品托中间，关闭工作盖板。-一定要戴手套拿取样品，避免污染真空样品腔!-择实验所需的镀膜程序，点击“Run-Profile”，开始镀膜。SEM-镀膜选择-，其他用途根据需求选择不同程序。-”-5nm-膜程序结束后，打开工作腔室，取出样品，关闭腔门。如果不能打开，运行-Vent-Chamber”程序，最多运行三次，即可打开。

EMS150TS离子溅射镀膜仪简要操作规程预约：1.在大仪系统上预约该设备的使用机时，并按时刷卡登录上机，可以在本实验室的公共电脑上提前期预约。2.系统的中的类型：SEM镀膜请选择“SEM喷金(Au5nm)”,其他用途选择按实际厚度收费，并根据自己的实验输入实际的镀膜厚度。开机：1.打开氩气和氮气气瓶阀。缓慢开启氩气钢瓶主阀门（逆时针转动），至高压指示出瓶压读数，检查减压表读数在0.03-0.04MPa左右。注意：Ar气钢瓶的减压阀已经调好，勿动！2.打开镀膜仪背后右下方的电源开关。镀膜：1.打开工作腔室，将准备好的样品放入样品托中间，关闭工作腔盖板。注意：一定要戴手套拿取样品，避免污染真空样品腔！2.选择实验所需的镀膜程序，点击“Run Profile”,开始镀膜。SEM镀膜选择“Au5nm”,其他用途根据需求选择不同程序。关机：1.镀膜程序结束后，打开工作腔室，取出样品，关闭腔门。如果不能打开，运行“QT Vent Chamber”程序，最多运行三次，即可打开。2.关闭镀膜仪开关，刷卡下机。3.关闭A气和N,气钢瓶阀门，仅关闭主阀即可（顺时针转动），勿动减压阀。4.做好使用登记。