氮化镓新型气相外延(MOCVD)工艺尾气设备ExhaustequipmentforthenovelGaNgas-phaseepitaxy(MOCVD)process

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ICS13.030.40CCS J 88「/ACCEM团体标准T/ACCEM XXXX-2025氨化镓新型气相外延(MOCVD)工艺尾气设备Exhaust equipment for the novel GaN gas-phase epitaxy(MOCVD)process(征求意见稿)在提交反债意见时,请将您知道的相关专利连同支持性文件一并附上。2025-Xx-XX发布2025-Xx-XX实施中国商业企业管理协会发布
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