FlexSEM1000Ⅱ操作规程

FlexSEM1000Ⅱ操作规程一、开机1.打开主机开关2.启动电脑，双击桌面软件图标3.点击[Stat]进入软件程序（口令为空）4.，出现样品台初始化的提示框，点击[C1os©]，过程约1分钟，结束后将出现操作界面，点击[AR],进行放真空，时间约3分钟。二、放置样品1.严格按照规范制备样品，使用样品规限定样品台高度。样品的最高点和高度规的距离约1mm。确认样品台与调节螺杆、紧固盘片与样品台座上紧。确保样品最高点低于高度规，否则会触碰到样品仓内的高度检测挡板，仪器发生报警。2.确认倾斜角度T为零的前提下，握紧把手缓慢拉开样品仓门，向面对于电镜时的左方推入样品。3.点击操作面板上[Specimen exchange],进行样品交换。首先选择相应的样品台类型，接着点击[Stub size],选择样品台的实际尺寸，点击[OK)]。选择好之后点击Next],然后选择真空模式(SM一高真空；VPSEM-一低真空)，点击[Capture]键，摄像头将拍摄一张光学图片作为导航图片。最后双手缓慢将样品台推入到底，点击EVAC],开始抽真空，这个过程大约需要3分钟三、样品观察1.真空度达到仪器要求后，[Stat]键将不再显示为灰色，显示绿色。点击[Start],加高压，这个过程中软件还会进行自动亮度对比度、自动对焦，样品的扫描电子图像出现在屏幕中，通过轨迹球（选配）或者鼠标寻找目标观察区域。2.在高压控制对话框Vacc下拉列表中选择合适的加速电压，电压越高图像分辨率越高，但对于易损伤及需要观察极表面信息的样品应选择低电压。在Sotintensity下拉列表中选择合适的Spot size,低倍率下选择较大的Spot size,图像有较好的信噪比；高倍率下选择较小的Spot size的值，提高分辨率。3.观察过程中，根据实际需要，在电子图像显示区域信号选择的下拉菜单中，选择所要接收的信号“SE”(二次电子)、“BSE”(背散射电子)。也可在第二显示区选择显示SEM MAP或者同一位置的其他电子信号图像。4.选择合适的扫描模式，通常在快扫模式下寻找样品；通过小窗口进行聚