工业部高纯水水质试行标准

我国电子工业部高纯水水质试行标准化学指标单位：μgL序号水质项目一级高纯水指标二级高纯水指标1电阻率(25℃)MQ·cm≥15≥10电导率，μscm0.050.1PH值6.8-7.26.6-7.4细菌总数，个mL<3<95微粒（直径>0.5μm,粒mL)<150<3006二氧化硅<10<20>有机物（以COD计）<0.3<0.58钠Na<0.5<29铁Fe<1<2铜Cu0.511钙Ca<1<312镁Mg<0.2<113锌Zn<0.5<114锰Mn<0.2<0.5说明：①一级高纯水适用于大规模集成电路，微波器件以及有相同要求到半导体器件产品。②二级高纯水适用于一般电路，分立器件以及有相同要求的半导体器件产品。③本表按1980年电子工业部标准摘录。