微电子工业用水水质标准

微电子工业水质标准LED(TFT)256K DRAMIM DRAM4M DRAM16M DRAM64M DRAM线宽度(um)1.4-1.80.8-1.00.4-0.60.2-0.30.1电阻率>18.0>17.5>18.0>18.0>18.1>18.1(Mohm,25C)TOC (ppb)<20<100<30<10<3<1微粒(No.ml)(0.1μ)(0.2μ)(0.1μ)(0.05μ)(0.03μ)0.03μ)<10/ml<50/ml<10/ml<30/ml<10/ml<5/ml细菌(CFU/ml)<1/100<10/100<1/100<5/1000<5/1000<5/1000溶解氧(ppb)<50<100<100<50<5<3二氧化硅(ppb)<5<10<5<3<1<0.5硼(ppb)<20.050.050.05钠(ppb)<0.1<0.2<0.1<0.10.050.01钾(ppb)<0.1<0.3<0.1<0.10.050.02锌<0.05<0.1<0.05<0.050.020.02铁<0.05<0.05<0.050.020.02铜<0.05<0.05<0.050.0050.005氯化物<0.1<0.2<0.10.10.020.02溴化物<0.1<0.10.050.020.02硝酸盐<0.1<0.10.050.020.02硫酸盐0.1<0.20.050.050.05不溶残渣0.30.10.050.050.05