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中华人民共和国国家标准微电子生产设备安装工程施工及验收规范Code for construction and acceptance of micro-electronicsmanufacturing equipment installation engineeringGB50467-2008主编部门:中华人民共和国工业和信息化部量雅部门:中华人民共和国住房和城乡建设部行日期:2009年7月1日标准分享网wW.zfm.cm免费下载中国计划出版社2009北京
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