双束电镜原理及应用课程教学大级

《双束电镜原理及应用》课程教学大纲一、课程概况课程名称双束电镜原理及应用课程号1412070课程英文名称Principle and application of dual学时/学分36/2beam electron microscope课程性质选修适用专业材料物理、功能材料课程负责人邓霞教学团队彭勇、张军伟、蒙萱、胡阳、关超帅选用散材及教材：《聚焦离子束：应用与实践》邓昱、魏大庆、王英、陈振著参考书目参考书目：《Focused Ion Beam Systems:Basics and Applications》Nan Yao课程简介：双束电镜原理及应用是材料科学的专业选修课程。双束电镜主要由扫描电子束系统和离子束系统组成。课程着重阐述扫描电子束系统/离子束的结构、电子束/离子束与物质的相互作用和成像原理：离子束诱导沉积、溅射刻蚀过程及重要控制参数。从实际工作应用角度出发，详细介绍双束电镜在产研半导体器件、核功能材料、金属材料及电子束敏感材料中的应用，其包含微观结构成像、化学成分分析、刻蚀加工、材料沉积、电子束曝光、三维结构解析、电路检测和TEM样品制备等。最后结合双束电镜TEM样品制备实验操作，使学生形象地理解双束电镜的工作过程，具象化其应用。课程目标(Course Objectives,CO)熟悉双束电镜的工作原理知识及应用领域知识目标(C01)掌握双束电镜在半导体器件、核功能材料、金属材料和电子束敏感材料中的应用利用双束电镜技术对半导体器件、金属材料和电子束敏感材料进行能力目标(C02)微观检测和分析实践双束电镜的刻蚀、沉积及纳米加工应用素质、情感价值观目标(CO3)☑PM1讲授法教学32学时89%口PM2研讨式学习学时%散学方式(Pedagogical口PM3案例教学学时%口PM4翻转课堂学时%Methods.PM)口PM5混合式教学学时%回M6体验式学习4学时11%考考核方式☑EM1课程作业20%oEM2单元测试%OEMB课堂辩论oo(EvaluationMethods,EM)必选oEM4期中考试%oEM5期末考试%oEM6撰写论文/实验报告%